■ 放射照度計の仕組み

分光放射照度計（スペクトロラジオメータ）は、対応した波長範囲の紫外線の強度をスペクトル分解能で測定する紫外線測定器です。放射照度計とは異なり、個々の波長または非常に狭い波長域の強度を連続的に測定することができます。分光放射照度計は、紫外光をスペクトル成分に分割する分光器を使用しています。分光器には、通常回折格子(グレーティング)やプリズムが用いられます。検出器としては、CMOSやCCD、光電子増倍管が使用されます。分光器によって選択された波長は検出器で記録され、電気信号に変換されます。

拡散板（ディフューザー）：
拡散板は、入射した紫外線を均一に散乱させるために使用されます。方向依存性を補正するために重要であり、コサイン補正としても知られています。微細なガスバブルを含む不透明な石英ガラス、またはPTFEなどで作られます。

フィルター：
紫外線の特定の波長域（UVA、UVB、UVCなど）を選択分離するために、フィルターを使用します。干渉フィルタ、吸収フィルター、バンドパスフィルター、ロングパスフィルターなど、さまざまなタイプの光学フィルターが使用されます。これらのフィルターはUV測定装置の用途に合わせて選択されます。

検出器（フォトダイオード）：
検出器は、紫外線放射を電気信号に変換する紫外線測定器の主要なセンサーです。シリコン(Si)や炭化ケイ素(SiC)などの半導体材料で構成されています。これらの材料は紫外線に反応し、入射強度に比例した電流を発生します。

アナログ・デジタル変換器（ADC）：
アナログ・デジタル変換器は、検出器によって生成されたアナログ信号を、処理装置（マイクロプロセッサー）で扱えるデジタル信号に変換します。AD変換器はアナログ信号をサンプリングし、高精度でデジタル値に変換します。AD変換器の分解能（12ビット、16ビット、24ビットなど）は、測定値の精度に影響します。

■ 放射照度計の測定値

放射照度 (Irradiance)：
放射照度は紫外線放射の強度を表します。これは、ワット毎平方メートル（W/m²）、ミリワット毎平方センチメートル（mW/cm²）、マイクロワット毎平方センチメートル（μW/cm²）などの単位で測定されます。単位面積あたりの紫外線の強さを示します。面積の単位は簡単に換算でき、例えば、10mW/cm²は100W/m²（=100,000mW/m²）に相当します。

■ ISO17025認定の校正試験所

Opsytec Dr. Gröbel社は、ISO/IEC 17025:2018に準拠して認定されています。この認定はドイツのDAkkSによって与えられています。DAkkSは国際的な認定機関であるEA、IAF、ILACのメンバーであり、弊社の認定は国際的に認められています。

当社のキャリブレーションラボラトリ（K-20284-01-00）では、放射照度計とUVセンサーを低い不確かさで校正することができます。この校正サービスは、当社独自の測定機器だけでなく外部の機器に対しても提供しています。

また、分光放射計（分光計、モノクロメーター、ダブルモノクロメーター、アレイ分光計）やランプ/ランプシステムの校正試験も行っています。 IEC 62471-6:2022に準拠した、ランプ、LED、およびそれらを使用するシステムの光生物学的安全性の試験と分類も行っています。テストラボラトリー（PL-20284-01-00）も2017年よりDAkkSの認定も受けています。

■ アプリケーション例

工業分野や科学分野などの幅広い分野においてライン組込みでの紫外線ランプ、UV-LEDの測定で活用されています。

露光装置/ライン

• 半導体や液晶基板の製造
• フォトリソグラフィ
• レジストの硬化
• ウエハークリーニング
• ウエハーの表面改質
  など

UV硬化装置/ライン

• UV接着、粘着材、光学レンズ、ラミネート
• UVインクの硬化、電子部品の印字硬化
• 歯科材料、３D光造形
• 液晶フィルムディスプレイ基板の仮止め
• 紫外線硬化型樹脂
• 光ファイバー
  など

UV洗浄・改質装置/ライン

• 自動車の外装、内装、機能部品関連
• 電子部品（プリント基板、コンデンサなど）
• 筐体関連（携帯、デジカメ、冷蔵庫）
• 液晶パネル（ガラス、カラーフィルター）
• 半導体（ウエハー、リードフレーム）
• 光学製品（ガラスレンズ、樹脂レンズなど）
• 木工（塩ビシート）
• キーボード、ICカード、タッチパネル
  など

UV殺菌・消毒

• 紫外線殺菌装置（薬剤、食品など）
• UV水殺菌装置
• 消毒プロセスのモニタリング
• 医療機器の滅菌
  など

その他

• 生産ラインや生産装置
  （紫外/可視ランプ、UV-LEDなど）
  など

■ 紫外線測定器を利用するにあたって

紫外線測定器を最大限に活用するために、以下の点にご留意ください。

・測定器を使用環境に設置する際、放射照度は距離に依存するため、測定器を目的の場所に正確に配置する必要があります。例えば、UV接着の場合は接着を実施する場所、作業場の測定の場合は顔の位置で測定を行います。

・校正は、正しい校正用光源を使用して実施します。校正用光源のスペクトルが測定対象のUV照射器のスペクトルと完全に一致しない場合に、スペクトルの不一致が発生し、測定に大きな影響を与えます。Opsytec Dr. Gröbel社では、幅広い種類の校正用光源を所有しており、用途に応じた校正プロセスを取ることでこのようなミスマッチを最小限に抑えます。

・長く利用するために、測定器が汚れないように保護をお願いします。測定器が汚れている場合は、イソプロピルアルコール（IPA、イソプロパノール）と糸くずの出ないリントフリー布で丁寧に清掃します。

・定期的な校正を実施します。正確なデータ測定と汚染や経年劣化を防ぐために、測定器の定期的な校正を行います。