• ２Ｄ,３Ｄのデータを１度に取得
• ウェハー全体をワンショット測定し反りを検査
• WarpageとBowも測定可能
• 最大視野 310×310mmを15秒で測定
• 反りの高さ計測　最大５mmに対応
• 反射面の測定
• 専用ソフトウェア付属
• 専用測定ケースで毎回同じ環境での計測を実現

Nexensor社 の nXF-3D は12インチウェハー全体の反り、WarpageとBowを一度に測定、検査ができる３Ｄ測定装置です。

ウェハーだけでなく高反射面や透明な面の測定に向いており、定量的で正確な測定が可能です。フィルムの表面、二次電池パウチ、水素電池の薄板、自動車表面の反りや傷の測定などにもご利用いただけます。