出展予定展示会

• 最大視野 33mm×22mm
• 量産ライン向きの高速測定
• μmスケールの構造の観察が可能
• ソフトウェア付属

Nexensor社 の nXI-2 は最大33mm×22mmの面積を高速に測定できる３Ｄ白色干渉変位計です。

測定サンプルにもよりますが１秒程度時間で測定し、100nmの繰り返し精度があります。コーティングの厚さ、PCBやウェハの凹凸確認にご利用いただけます。

センサの制御には、組み込みインライン用に対応するインタフェイスが提供され、オフラインでの三次元計測・解析用には、付属するアプリケーションソフトウェアNX-SCANをお使いいただけます。