• １秒以下の測定時間
• １回のスキャンで表面と膜の下の構造を測定
• 段差、幅、角度、体積、粗さ、平坦度などの測定
• 顕微鏡タイプ、タレットタイプ

Nexensor社 の nXI-5 はサブマイクロスケールの領域の表面構造を精度よく高速に測定する３Ｄ白色干渉顕微鏡・変位計です。

１秒以下の測定時間で段差、幅、角度、粗さ、平坦度など様々な測定が可能です。１μｍ薄膜の分離が可能で、１度のスキャンで表面と膜の下の構造を測定できます。

センサの制御には、組み込みインライン用に対応するインターフェースが提供され、オフラインでの三次元計測・解析用には、付属するアプリケーションソフトウェアNX-SCANをお使いいただけます。