顕微鏡型３Ｄ白色干渉変位計 nXI-5SC/nXI-5ST Nexensor | ３Ｄ白色干渉顕微鏡・変位計

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Nexensor社の nXI-5SC/nXI-5ST はサブマイクロスケールの領域の表面構造を精度よく高速に測定する３Ｄ白色干渉変位計です。

動作に必要な機器が組み込まれたスタンドアローンのシステムで研究・開発・品質管理に最適です。１秒以下の測定時間で段差、幅、角度、粗さ、平坦度など様々な測定が可能。１μｍ薄膜の分離が可能で、１度のスキャンで表面と膜の下の構造を測定できます。

ジオメトリー

プロファイル

ピークカウント

ラフネス

Hole

PCB Bumps

Roughness

Wafer Bumps

システム	測定原理	３Ｄ白色干渉・変位計測技術
	スキャンタイプ	エリアスキャン
	スキャンレンジ	200μm
	カメラ	解像度：1920×1200　ピクセルサイズ：3.45μm
	垂直分解能	５nm
	繰返精度	0.2%（Standard/Step Height 10μm）
	スキャン時間	＜１s
	サイズ	363 × 360 × 440mm（x10レンズの場合）
	X,Yストローク	70 × 50mm（マニュアル）
	Zストローク	30mm（マニュアル）
	ステージサイズ	90 × 90mm
	内容物	nXI-5SC or nXI-5ST , コントローラー , PC（言語選択：英語、韓国語）
	三次元測定及び解析ソフトウェア	NX-SCANソフトウェア
光学系	レンズ倍率	10x （nXI-5SC / nXI5-ST）	20x （nXI-5SC / nXI5-ST）	5x （nXI-5ST）	50x （nXI-5ST）
	計測エリア	0.662 × 0.414mm	0.331 × 0.207mm	1.324×0.828mm	0.132×0.082mm
	WD	7.4mm	4.7mm	10.3mm	3.4mm
	ピクセル分解能	0.345μm	0.172μm	0.69μm	0.069μm
	NA	0.3	0.4	0.13
オプション	除振台	400 × 500 × 100mm

※ お客様サンプルのデモ測定をご希望の場合はお気軽にご相談ください。

商品コード（型番）	構成/内容	価格
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