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- 3D白色干渉顕微鏡・変位計 Nexensor
- 近赤外干渉式厚み・変位センサ nXV-1
近赤外干渉式厚み・変位センサ
製品名
nXV-1
製品名
nXV-1
マルチレイヤーフィルムも対応 / 正確な変位と厚さの測定
- 複数のコーティング層も正確に分離
- オンラインで使える高速リアルタイム計測
- 二次電池のシリング厚さ、PCコンフォーマルコーティング厚さなど
- 最大16チャンネル
Nexensor社のnXV-1は最大16チャネルのプローブで正確な計測ができる干渉厚み・変位センサです。
複数の薄膜も分離して測定ができるため、コーティングのある表面も精度よく測定可能です。
測定に利用する光源の波長を変えることで、透明な物体(フィルム、ガラス、石英など)やシリコンウェハも測定でき、またPCBコンフォーマルコーティングや2次電池の封止厚さなど計測の難しい対象も測定できます。
Film&Glass
Wafer
Conformal Coating
Secondary Battery Sealing
仕様
プローブ | スキャンタイプ | スポットスキャン | |||
---|---|---|---|---|---|
タイプ | T | B | C | ||
サイズ | Φ15 | Φ33 | Φ15 | Φ33 | |
WD | 74mm | 70mm | 54mm | 25mm | |
測定レンジ(厚さ) | 0.05 ~ 4mm | ||||
最大レンジ(変位) | 2mm | 1mm | |||
スポットサイズ | 100μm | 7μm | 100μm | 7μm | |
繰返精度 | 1nm | ||||
光源波長 | 1050nm | ||||
光源強さ | 60mW | ||||
計測時間シングル | 7ms | ||||
計測時間マルチ | 70ms | ||||
動作環境照度 | <5,000lux | ||||
動作環境温度 | 0 ~ 35℃ | ||||
動作環境湿度 | 20 ~ 85%RH | ||||
コントローラー | プローブ数 | 1 / 4 / 8 / 16 | |||
PCインタフェース | イーサネット | ||||
標準消費電力 | 5V 4A | ||||
動作環境温度 | 0 ~ 45℃ | ||||
動作環境湿度 | 35 ~ 85%RH |
※ お客様サンプルのデモ測定をご希望の場合はお気軽にご相談ください。
価格
商品コード(型番) | 構成/内容 | 価格 |
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nXV-1 | 近赤外干渉式厚み・変位センサ nXV-1 | お問い合わせ |
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